用于鼓泡供应管线的在线气体浓度监测器。 用于稳定供应材料气体。

MOCVD（有机金属气相沉积法）广泛用于LED制造工艺和光学器件制造工艺。 该MOCVD仪器使用液体/固体材料，通常通过鼓泡方法作为汽化气体供应到腔室。 实时气体浓度监测对于在该材料供气管线中实现稳定的沉积过程非常重要。 IR-300系列气体浓度监测仪已引入MOCVD设备的物料供气管线，可实现在线高速气体浓度监测。 我们支持材料气体的稳定供应。

具体型号：

IR-312M

IR-314M

IR-315M

IR-322M

IR-324M

IR-322MB

IR-324MB