本产品为皮拉尼真空计，可测量从大气压到5×10-2Pa的宽量程。

此外，该真空计取消了传统控制器的操作和显示部分，并将其缩小到最低限度的必要功能，从而实现了“降低成本”和“节省空间”。

GPW系列的特点

广域测量：可进行从大气压到5×10-2Pa的广域测量。

减少布线：将传感器和控制器集成在一起，减少布线，节省空间，节省电力。

提高可视性：配备用于检查异常情况的 LED

可一键式调整：一键式即可进行大气压调整和零点调整。

可维护性：易于更换测针

灯丝材料/铂金（Pt）：灯丝材料采用耐腐蚀的铂金。

测量值输出信号：0 至 10 V 压力日志输出是标准设备

提高抗冲击性：设计结构具有高抗冲击性

控制输出信号：可输出 2 个设定点 (GPW-1)

串行通信规格：可进行 RS-232C/RS-485 通信（仅限 GPW-2）

符合标准：CE标准兼容

用法

用于太阳能电池、FPD、半导体、电子元器件等各种制造设备的低真空区域的过程控制

用于熔炉等各种工业设备的低真空区域的过程控制

用于在线型、单晶圆型等具有多个工艺室的各种制造设备的低真空区域的过程控制

型号 GPW-1 GPW-2

1个可连接手写笔

自适应探头 SWP-16 (NW-16)

测量压力范围 5.0×10-2 至 1.0×105 Pa

测量精度* 1 × 10-1 至 1 × ×104Pa : ± 10 %

5.0×10-2～1.0×10-1Pa、1×104Pa～1×105Pa：±20%

重复性 1 × 10-1 Pa 至 1 × 104 Pa：± 2 %

采样时间 50 ms 5次移动平均处理

测量值输出 输出电压 DC 0 至 10 V

压力指示（对数输出）1.7 V 至 8.0 V，1 V/digit

更新时间 50ms

控制输入信号 集电极开路输入，负逻辑

ADJ调整（调零、大气压调整）-

控制输出信号 集电极开路输出

负逻辑 [额定值：30 VMAX、50 mAMAX、70 mW]

错误信号

设定点 1、2 -

设定点监控 设定点 1、2：0 至 10 V 日志输出 -

串口通讯规范-RS232C/RS485

LED 显示 POWER / ERROR : 电源、错误 LED

SET-1：设定点 1 LED

SET-2：设定点 2 LED -

灯丝材质 铂金

工作温度范围 10 至 40°C

工作湿度范围 15 至 80%（无冷凝）

IP 防护等级 IP30（传感器单元）

安装方向 无限制

电源电压 DC 18 V 至 30 V，2 W（打开电源时为 4.8 W）

输入/输出连接器 D-sub 15 针（M2.6 螺丝）

重量 150 克（带 SWP-16）

外形尺寸（电源）W×D×H(mm) 70×46×28

符合标准 CE