本产品为换能器式多离子规，可连接不同量程的探头。

在一个将传统方法的多种原理结合在一个外壳中的复杂真空计中，如果一个探头失效，则需要更换所有探头，探头复杂且容易出现故障，我们经常听到客户说“它很贵”。

采用这种方法，可以进行宽带测量，同时运行成本大大降低，环境负荷小。

GMi系列的特点

广域测量

可测量从大气压到高真空范围（105 至 5×10-8 Pa）（同时使用 GPM 和 GAM 时）

可以连接具有不同测量范围的触点

采用多离子规，可以根据应用选择触针。

精确的大气压力测量

轻松准确地确认大气压（使用 GAM 时）

支持低环境影响

由于可以根据需要更换触笔，因此可以降低运行成本。

提高知名度

配备 LED 以检查异常情况

可维护性

易于更换手写笔

各模式规格（组合模式）

GMi + GPM（离子规+皮拉尼规）

GMi + GPM + GAM（离子规+皮拉尼规+大气压力传感器）

测量值输出信号

压力为0～10V输出（Log输出）

控制输出信号

三个设定点输出是可能的 (GMi-1)

串口通讯规范

可进行RS232C/RS485通讯（GMi-2）

符合标准

符合 CE 标准

用法

用于太阳能电池、FPD、半导体、电子元器件等各种制造设备的高真空区域的过程控制

在线型、单晶圆型等具有多个工艺室的各种制造设备的高真空区域极限压力的确认

高真空/超高真空设备的压力测量

规格：

型号 GMi-1 GMi-2

规格 标准规格 串行通信规格

自适应多离子规传感器 M34 (NW16)、M35 (NW25)

可连接传感器多离子规传感器：1

皮拉尼压力计 GPM：1 件（可选）

大气压力传感器GAM：1个（选配）

采样时间 70 ms 4次移动平均处理

测量值输出 输出电压 DC 0 至 10 V，Log 输出 0.75 V / 1 位

压力换算公式 V = 7.25 + 0.75 × (Log P - 2) P = 10^{ ( V - 7.25 ) / 0.75 + 2 }

* 也可用作设定点调整的输出电源（仅限 GMi-1）

更新时间 50 毫秒

控制输入信号 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF

以集电极开路输入、负逻辑运行

* FIL ON / OFF 信号的使用因模式而异。

-

控制输出信号传感器错误，设定值 1 / 2 / 3

排放有效

灯丝功率监控

额定值：24VMAX，50mAMAX，

饱和电压 1 V -

串口通讯规范-RS232C/RS485

LED 显示 POWER / ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化）

FIL：发射有效 LED

SET1：设定点 1 LED

SET2：设定点 2 LED

SET3：设定值 3 LED -

发射电流 1 mA（1 × 10-3 Pa 或更小），10 µA

DEGAS 电子轰击 1 mA，330 V

传感器耐压 2×105 Pa（绝压） *法兰和卡箍的耐压必须分别考虑。

传感器内部容积 34 cm3 (M34)

工作温度范围 10 至 50°C

工作湿度范围 15 至 80%（无冷凝）

储存温度 -20 至 65°C（断电时无结露）

IP防护等级IP30

电源电压 20 至 28 VDC（纹波、噪声 1% 或更少） 19 W 或更少（打开电源时为 156 W）

输入/输出连接器 D-sub 15 针（M2.6 螺丝）

重量控制器：约 530 克，B-A 手写笔 (M34)：63 克

外形尺寸 W x D x H (mm) 144 x 75 x 62 或更小（控制器部分）

符合标准 CE

电源/错误选项：多离子规传感器 M34 (NW16)、M35 (NW25)

材料：灯丝 1 lr / Y2O3 涂层，灯丝 2 W（钨）

其他 PtCMo、SUS、W

皮拉尼真空计 SPU

皮拉尼压力传感器 WP-16 (NW16)

材料：灯丝 Pt、其他 BS/Ni、电镀、Ni、焊料

大气压力传感器GAM（NW16）材质：SUS316L

0.5 mm 用于单元电缆 GPM

0.5mm 用于 GAM

显示单元1 CH：型号ISG1（使用DC 24 V电源）

4 CH：型号IM1R1（使用24VDC电源）

             型号 IM2R1（带 AC 100 V 电源）

显示电缆 GMi 和显示单元之间的电缆

2m、5m、10m、15m