电容式压力计“M-342DG”在压力传感器中使用小型硅MEMS芯片，将温度、振动、气压波动等外部环境的影响降到很低，实现高精度和稳定的压力测量。实现最小化的隔膜真空计调零频率。

特点：

准确稳定的压力测量

・出色的零点稳定性

・无需温度调节机构，温度依存性低，稳定性优异

・优异的抗振动噪声性能

紧凑和低功耗

・重量 200 克，尺寸 W46 mm × H49 mm × L106 mm，轻巧紧凑 (*1)

・消耗电力0.5W

用途：

支持广泛的高精度、长期稳定的真空压力测量

半导体、显示器、太阳能电池等各种真空器件。

・溅射、PECVD等真空蒸镀工艺压力的控制、监视

・负载锁定室的压力控制、晶圆冷却等气体导入工序、系统压力控制

医疗、生物、食品等各行业及各种研发应用

各种镀膜、等离子体处理、真空密封、真空炉、分析仪、灭菌、真空泵评价、分子蒸馏等。