特点：

• 双组分同步监测（SiF2、CF4） *仅限 IR-4 系列

• 高灵敏度

• 气室加热功能

• 模拟/数字通信

• 多显示器

用于腔室清洁终点检测的气体监测仪IR-422 IR-432

在半导体制造的成膜过程中，由于微细加工的进步，为了提高生产率，在加工后始终保持腔室清洁非常重要。 IR-400 系列是用于薄膜沉积工艺的腔室清洁终点检测监视器，可实时监控废气成分（SiF4、CF4）。 它有助于优化干洗终点检测，减少清洁气体消耗和时间，并减少腔室损坏，从而延长零件的使用寿命。