传感器单元 GP-1 是皮拉尼真空计，可测量 3,000Pa 至 0.4Pa。

这种真空计通过从传统控制器中去除操作和显示部分并将其缩小到最低限度的必要功能，实现了“降低成本”和“节省空间”。

GP-1的特点

传感器规格：不需要压力指示器时

・降低真空计的成本

・节省控制面板周围的空间

・节省布线

ETC。

可维护性：易于更换测针

灯丝材质：采用铂金（Pt）

灯丝材料采用耐腐蚀铂金。

可以使用手写笔 WP 系列：您一直在使用的手写笔可以按原样使用。

控制输出信号：可输出2个设定点

测量值输出信号：0 至 5 V 压力输出（非线性输出）

电源电压：可使用DC24V输入

用法

用于各种制造设备（包括半导体和电子元件）的低真空区域过程控制

用于熔炉等各种工业设备的低真空区域的过程控制

用于在线型、晶圆型等具有多个工艺室的各种制造设备的低真空区域的过程控制

类型传感器单元

型号 GP-1

自适应探头 WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

测量压力范围 4.0×10-1～3.0×103Pa

测量精度 ± 15 %（51 Pa 至 760 Pa）

±30% (10Pa 至 1,000Pa)

±50% (0.4Pa 至 3,000Pa)

工作温度范围 10 至 40°C

采样时间 50 ms 5次移动平均处理

测量值输出 非线性输出：DC 0 至 5 V（最大 10 V）

更新时间 50ms

10 mV 分辨率

设定值 1/2 调整输出 非线性输出：0 至 5 V DC（最大 10 V）

控制输出信号 集电极开路，负逻辑

错误信号

设定值 1/2

LED 显示功率、错误、设定点 1/2

电源 DC 24 V ± 2 V, 90 mA

输入/输出连接器 D-sub-15P（M2.6 螺丝）

机身质量 190 克（不包括手写笔）

附件 输入/输出连接器 1套

使用说明书 1份